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200系列熱式氣體質量流量計/控制器

量程2SCCM-500SLPM,精度±1%FS,支持氣體切換,性價比高

Twin-Tiger 200系列橡膠密封氣體質量流量計/控制器主要基于?熱式質量流量測量原理,流體經加熱的毛細管傳感器通道,帶走熱量,形成上游與下游的溫差(ΔT),該溫差與?氣體質量流量成正比?,結合?閉環反饋控制?實現高精度流量調節,不受溫度、壓力變化影響。?

Twin-Tiger 200系列量程覆蓋范圍2SCCM-500SLPM(氮氣等效),控制范圍從1%滿量程到100%滿量程。支持數字信號Modbus-RTU(基于RS485)和模擬信號(4-20mA或0-5V),現場通訊靈活方便。

應用及案例


  • 分析儀器

  • 醫療設備

  • 真空鍍膜

  • 食品制藥

  • 工業爐窯

  • 光伏行業



特點

  • 響應時間≤1秒

  • 控制范圍從1%到100%滿量程

  • 溫度和壓力影響不敏感

  • 表面拋光處理

  • 泄漏率低

  • 壓損小




技術指標


介        質

潔凈、干燥、無腐蝕性氣體


量        程

2SCCM-500SLPM(氮氣等效)


量  程  比

50:1,100:1可選


精        度

±1%FS


重  復  性

±0.2%FS


耐        壓

1.5MPaG


最大工作壓力

0.45MPaG


工作差壓

(2SCCM-23SLPM) 量程:0.07-0.28MPaD

(>23-150SLPM) 量程: 0.14-0.28MPaD

(>150-500SLPM)量程: 0.20-0.30MPaD


響應時間

≤1秒


外部泄露率

1×10-9Pa.m3/sec(He)


標準工況(STP)

25℃&1Atm


環境溫度

5~45℃


過程連接

卡套:1/8"、1/4"、3/8"、1/2"、3mm、6mm、8mm等

VCR(公頭): 1/8"、1/4"、3/8"、1/2"

IGS: 1.125"C" 型密封、1.125"W" 型密封

1.5"C" 型密封、 1.5"W" 型密封


接液材質

316L不銹鋼、Viton氟橡膠、磁體不銹鋼


表面粗糙度

≤25Ra


防護等級

IP55


顯        示

標準不帶顯示,可選OLED顯示屏


設備地址

1(默認)-127


指示燈

綠燈和紅燈(供電、通訊、故障狀態指示)


安裝方向

任意方向


重        量

 詳見尺寸表


供電電壓

24VDC或±15VDC


功        耗

3.5-4.5W(和量程有關)


電氣連接

DB9M接頭和RJ-45網口插孔×2


模擬輸入/輸出信號

4-20mA或0-5V


數字輸入/輸出信號

RS-485/Modbus-RTU(默認)或DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profinet


通信速率

9600bps(默認)、19200、38400bps





通訊電源


供電電壓

24VDC或±15VDC


功        耗

3.5-4.5W(和量程有關)


電氣連接

DB9M接頭和RJ-45網口插孔×2


模擬輸入/輸出信號

4-20mA或0-5V


數字輸入/輸出信號

RS-485/Modbus-RTU(默認)或DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profinet


通信速率

9600bps(默認)、19200、38400bps


 



產品大圖





尺寸詳圖


size.png

圖示產品量程為0-5SLPM,更多量程尺寸請參見下表:

 

 

 

量程

外觀尺寸(長×寬×高)

過程接口

重量

2SCCM-5SLPM

124.0×31.8×127.0(mm)

 

1/4"卡套

 

約1kg

>5SLM-50SLM

124.0×33.0×130.0(mm)

1/4"卡套

約1kg

>50SLPM-100SLPM

3/8"卡套

約1kg

>100SLPM-300SLPM

181.7×38.0×155.7(mm)

3/8"卡套

約2.3kg

>300SLPM-500SLPM

178.0×38.0×157.5(mm)

1/2"卡套

約1.8kg

注:重量只包含對應卡套接口,其它過程接口重量請咨詢

 



訂貨選型


選型示例  

選型示例:200C-100L-6MS-008-A-RS-P24-N

含 義    基本型號-量程-過程接口-氣體-模擬信號-數字信號-供電電壓-顯示屏

 

序號

字段

代碼

1

系列和類別

200M:200系列熱式氣體質量流量計

200C:200系列熱式氣體質量流量控制器

2

量程

-2C:   2SCCM

-10C:  10SCCM

-50C:  50SCCM

-100C: 100SCCM

-200C: 200SCCM

-500C: 500SCCM

-1L:   1SLPM

-2L:   2SLPM

-5L:   5SLPM

-10L:  10SLPM

-20L:  20SLPM

-50L:  50SLPM

-100L: 100SLPM

-200L: 200SLPM

-500L: 500SLPM

-X量程: 定制量程(例如30SCCM,選型代碼為X30C;6SLPM,選型代碼為X6L)

3

過程接口

-3MS:3mm卡套接頭

-6MS:6mm卡套接頭

-8MS:8mm卡套接頭

-1IS:1/8"卡套接頭

-4IS:1/4"卡套接頭

-6IS:3/8"卡套接頭

-8IS:1/2"卡套接頭

-1CR: 1/8"VCR接頭

-4CR: 1/4"VCR接頭

-6CR: 3/4"VCR接頭

-8CR: 1/2"VCR接頭

-1.125C: 1.125“C" 型密封

-1.125W: 1.125“W" 型密封

-1.5C:   1.5“C" 型密封

-1.5W:   1.5“W" 型密封

-X:      定制接頭

4

氣體(遵循半導體標準E52-0703)

-001:氦氣

-004:氬氣

-007:氫氣

-008:空氣

-013:氮氣

-015:氧氣

-025:二氧化碳

-028:甲烷

注:其他氣體,詳見氣體列表

5

模擬信號

-N:無模擬信號

-A: 4-20mA模擬輸入/輸出信號

-V: 0-5V模擬輸入/輸出信號

6

數字信號

-RS:  RS485數字輸入/輸出信號(默認)

-DNET: DeviceNet通訊

-ECAT:EtherCAT通訊

-EIP:  EtherNet/IP通訊

-PFN:  Profinet通訊

注:RS485數字輸入/輸出信號為默認,選擇其他數字通訊時,模擬信號不可選

7

供電電壓

-P24: 24VDC

-P15: ±15VDC

8

顯示屏

-N:無顯示屏

-D: OLED顯示屏